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장비기본정보

기관명
(재)철원플라즈마산업기술원
장비명
전계방사형 주사전자현미경 (FE-SEM)
모델명
S-4800
제작사(국가)
일본
제작년도
2009
용도
분석
분류
전자
취득일
2009.12.30
장비설명
전자총에 전압과 전류를 접속하여 형성된 전자빔을 이용하여 금속 무기물질 고분자의 표면과 단면구조를 분석하는 장비로써 표면구조의 3차원적 image를 제공한다.TEM에 비해 간단한 전 처리를 통해 재료 식물 의학 반도체 등 거의 대부분 시료를 분석 할 수 있다.
장비구성

성능
*FE-SEM(Field Emission Scanning Electron Microscope)-분해능 : 1.0nm(at 15kV) 1.4nm(at 1kV)-배율 : x20~x800000-전자총 : Cold cathode field emission-가속전압 : 0.5 to 30kV-Specimen stage : X Y 0~50mm Z 1.5~30mm T -5˚~+70 ˚ R 360˚*EDS-분해능 : 129eV at 20mm(MnKa) -검출범위 : B(5) to U(92)
NTIS NO
NFEC-2011-01-138293
E-Tube NO
0912-A-0168

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
시간당
이용료
설치형태
고정
설치장소
(재)철원플라즈마산업기술연구원
장비상태
정상
담당자
연정미
연락처
0334529713
팩스
0334529776
사용방법
전화

주소: (24047) 강원도 춘천시 신북읍 신북로 61-10 강원테크노파크 기술혁신지원센터 TEL/033-248-5611
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